Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн салбарт уламжлалт том хэмжээний, өндөр хөрөнгө оруулалттай үйлдвэрлэлийн загвар нь боломжит хувьсгалтай тулгарч байна. Удахгүй болох "CEATEC 2024" үзэсгэлэнгийн үеэр Minimum Wafer Fab Promotion байгууллага нь литографийн процесст хэт жижиг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх тоног төхөөрөмжийг ашигладаг цоо шинэ хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн аргыг танилцуулж байна. Энэхүү шинэлэг зүйл нь жижиг, дунд бизнес (ЖДҮ) болон гарааны бизнес эрхлэгчдэд урьд өмнө байгаагүй боломжуудыг авчирч байна. Энэ нийтлэл нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хамгийн бага өрөмч фаб технологийн суурь байдал, давуу тал, сорилтууд болон болзошгүй нөлөөллийг судлахын тулд холбогдох мэдээллийг нэгтгэх болно.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь хөрөнгө, технологи их шаарддаг салбар юм. Уламжлал ёсоор бол хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд 12 инчийн хавтан үйлдвэрлэхэд томоохон үйлдвэрүүд, цэвэр өрөөнүүд шаардлагатай. Том ваарны үйлдвэр бүрийн хөрөнгө оруулалт нь ихэвчлэн 2 их наяд иен (ойролцоогоор 120 тэрбум юань) хүрдэг нь ЖДҮ болон гарааны бизнес эрхлэгчдэд энэ салбарт ороход хүндрэл учруулдаг. Гэсэн хэдий ч, хамгийн бага өрмөнцөр фаб технологи гарч ирснээр энэ байдал өөрчлөгдөж байна.
Хамгийн бага талст ялтсан хавтан нь 0.5 инчийн хавтан ашигладаг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн шинэлэг систем бөгөөд уламжлалт 12 инчийн хавтантай харьцуулахад үйлдвэрлэлийн цар хүрээ, хөрөнгө оруулалтыг эрс багасгадаг. Энэхүү үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн хөрөнгийн хөрөнгө оруулалт ердөө 500 сая иен (ойролцоогоор 23.8 сая юань) байгаа нь ЖДҮ болон гарааны бизнес эрхлэгчдэд бага хөрөнгө оруулалтаар хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл эхлүүлэх боломжийг олгож байна.
Хамгийн бага өрлөгийн фаб технологийн гарал үүслийг 2008 онд Японы Дэвшилтэт Аж Үйлдвэрийн Шинжлэх Ухаан Технологийн Үндэсний Хүрээлэн (AIST) санаачилсан судалгааны төслөөс улбаатай. Энэхүү төсөл нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд шинэ чиг хандлагыг бий болгоход чиглэгдсэн бөгөөд олон төрөл зүйлийг бий болгоход чиглэгдсэн юм. , бага хэмжээний үйлдвэрлэл. Японы Эдийн засаг, худалдаа, аж үйлдвэрийн яамаар ахлуулсан энэхүү санаачилга нь Японы 140 компани, байгууллагуудын хамтын ажиллагааны хүрээнд шинэ үеийн үйлдвэрлэлийн системийг хөгжүүлэх зорилготой бөгөөд зардал, техникийн саад бэрхшээлийг эрс багасгаж, автомашин болон гэр ахуйн цахилгаан хэрэгсэл үйлдвэрлэгчдэд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх боломжийг олгох зорилготой юм. мөн тэдэнд хэрэгтэй мэдрэгч.
**Хамгийн бага вафель фаб технологийн давуу талууд:**
1. **Хөрөнгийн хөрөнгө оруулалтыг мэдэгдэхүйц бууруулсан:** Уламжлалт том валют үйлдвэрүүд нь хэдэн зуун тэрбум иенээс давсан хөрөнгийн хөрөнгө оруулалт шаарддаг бол хамгийн бага өрмөнцөрийн үйлдвэрүүдийн зорилтот хөрөнгө оруулалт нь зөвхөн 1/100-аас 1/1000 хүртэл байдаг. Төхөөрөмж бүр жижиг хэмжээтэй тул хэлхээ үүсгэхийн тулд үйлдвэрийн том зай, фото маск шаардлагагүй тул ашиглалтын зардлыг ихээхэн бууруулдаг.
2. **Уян хатан, олон талт үйлдвэрлэлийн загварууд:** Хамгийн бага өрмөнцөрийн үйлдвэрүүд нь төрөл бүрийн жижиг багц бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхэд чиглэдэг. Энэхүү үйлдвэрлэлийн загвар нь ЖДҮ болон гарааны бизнес эрхлэгчдэд өөрсдийн хэрэгцээнд нийцүүлэн хурдан тохируулах, үйлдвэрлэх боломжийг олгодог бөгөөд зах зээлийн эрэлт хэрэгцээг хангах, зах зээлийн хэрэгцээнд нийцсэн, төрөл бүрийн хагас дамжуулагч бүтээгдэхүүн юм.
3. **Хялбаршуулсан үйлдвэрлэлийн процессууд:** Хамгийн бага талст ялтсан фабуудын үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж нь бүх процесст ижил хэлбэр, хэмжээтэй байх ба өрмөнцөр тээвэрлэх сав (шаттл) нь алхам бүрт түгээмэл байдаг. Тоног төхөөрөмж, явагч машин нь цэвэр орчинд ажилладаг тул том өрөөнүүдийг цэвэр байлгах шаардлагагүй. Энэхүү загвар нь орон нутгийн цэвэр технологи, хялбаршуулсан үйлдвэрлэлийн процессоор дамжуулан үйлдвэрлэлийн зардал, нарийн төвөгтэй байдлыг эрс багасгадаг.
4. **Цахилгааны бага зарцуулалт ба гэр ахуйн цахилгаан хэрэглээ:** Хамгийн бага өрмөнцөрт үйлдвэрлэдэг тоног төхөөрөмж нь мөн бага эрчим хүч зарцуулдаг бөгөөд стандарт гэр ахуйн AC100V цахилгаанаар ажиллах боломжтой. Энэ шинж чанар нь эдгээр төхөөрөмжийг цэвэр өрөөнөөс гадна орчинд ашиглах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь эрчим хүчний хэрэглээ болон үйл ажиллагааны зардлыг улам бүр бууруулдаг.
5. **Богиносгосон үйлдвэрлэлийн мөчлөг:** Том хэмжээний хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэхэд захиалгаас нийлүүлэх хүртэл удаан хугацаа шаардагддаг бол хамгийн бага хавтанцар нь хүссэн хугацаанд шаардлагатай хэмжээний хагас дамжуулагчийг цаг тухайд нь үйлдвэрлэх боломжтой. Энэ давуу тал нь ялангуяа жижиг, өндөр холилдсон хагас дамжуулагч бүтээгдэхүүн шаарддаг зүйлсийн интернет (IoT) зэрэг салбарт илт харагдаж байна.
**Технологийн үзүүлэн ба хэрэглээ:**
"CEATEC 2024" үзэсгэлэн дээр "Minimum Wafer Fab Promotion Organization" нь хэт жижиг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх тоног төхөөрөмж ашиглан литографийн үйл явцыг харуулсан. Үзэсгэлэнгийн үеэр литографийн үйл явцыг харуулах гурван машин зохион байгуулсан бөгөөд үүнд эсэргүүцэх бүрэх, өртөх, хөгжүүлэх зэрэг багтсан. Өргөст цаасны савыг (шаттл) гартаа барьж, төхөөрөмжид байрлуулж, товчлуур дээр дарснаар идэвхжүүлсэн. Ажил дууссаны дараа шаттл авч, дараагийн төхөөрөмжид суулгасан. Төхөөрөмж бүрийн дотоод байдал, явцыг тус тусын дэлгэц дээр харуулсан.
Эдгээр гурван процессыг хийж дууссаны дараа ваферийг микроскопоор шалгаж үзэхэд "Happy Halloween" гэсэн үг, хулууны дүрс бүхий хээ илэрсэн байна. Энэхүү үзүүлбэр нь хамгийн бага өрмөнцөр фаб технологийн боломжуудыг харуулсан төдийгүй уян хатан чанар, өндөр нарийвчлалыг онцолсон юм.
Нэмж дурдахад зарим компаниуд хамгийн бага вафель фаб технологийг туршиж эхэлсэн. Тухайлбал, Yokogawa Electric Corporation-ийн охин компани болох Yokogawa Solutions нь ундаа худалддаг машинтай адил хэмжээтэй, цэвэршүүлсэн, гоо зүйн хувьд тааламжтай үйлдвэрлэлийн машинуудыг үйлдвэрлэж эхэлсэн бөгөөд тэдгээр нь тус бүрдээ цэвэрлэх, халаах, өртөх функцээр тоноглогдсон байна. Эдгээр машинууд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх үйлдвэрлэлийн шугамыг үр дүнтэй бүрдүүлдэг бөгөөд "мини вафель фаб" үйлдвэрлэлийн шугамд шаардагдах хамгийн бага талбай нь зөвхөн хоёр теннисний талбайн хэмжээтэй буюу 12 инчийн вафель фабын талбайн ердөө 1% юм.
Гэсэн хэдий ч хамгийн бага хавтанцар үйлдвэрүүд одоогоор хагас дамжуулагчийн томоохон үйлдвэрүүдтэй өрсөлдөхөд бэрхшээлтэй байдаг. Хэт нарийн хэлхээний загварууд, ялангуяа дэвшилтэт технологийн технологид (7нм ба түүнээс доош гэх мэт) орчин үеийн тоног төхөөрөмж, томоохон хэмжээний үйлдвэрлэлийн хүчин чадалд тулгуурладаг. 0.5 инчийн хэмжээтэй вафель хавтангийн процесс нь мэдрэгч, MEMS гэх мэт харьцангуй энгийн төхөөрөмжүүдийг үйлдвэрлэхэд илүү тохиромжтой.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хамгийн бага талбар нь маш ирээдүйтэй шинэ загвар юм. Жижиг, хямд өртөгтэй, уян хатан чанараараа онцлог нь ЖДҮ болон шинэлэг компаниудад зах зээлийн шинэ боломжийг олгоно гэж үзэж байна. Хамгийн бага талст хавтангийн давуу тал нь IoT, мэдрэгч, MEMS гэх мэт хэрэглээний тодорхой талбаруудад илт харагдаж байна.
Ирээдүйд технологи нь боловсронгуй болж, улам боловсронгуй болохын хэрээр хамгийн бага вафель фабууд нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн салбарт чухал хүч болж чадна. Эдгээр нь зөвхөн жижиг бизнесүүдэд энэ салбарт орох боломжийг олгодог төдийгүй бүхэл бүтэн салбарын зардлын бүтэц, үйлдвэрлэлийн загварт өөрчлөлт оруулах боломжтой. Энэ зорилгод хүрэхийн тулд технологи, авьяас чадварыг хөгжүүлэх, экосистемийг бий болгоход илүү их хүчин чармайлт гаргах шаардлагатай болно.
Урт хугацаанд хамгийн бага өрөмтэй фабуудыг амжилттай сурталчлах нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд, ялангуяа нийлүүлэлтийн сүлжээг төрөлжүүлэх, үйлдвэрлэлийн үйл явцын уян хатан байдал, зардлын хяналт зэрэгт гүнзгий нөлөө үзүүлэх болно. Энэхүү технологийг өргөнөөр ашиглах нь дэлхийн хагас дамжуулагчийн салбарт цаашид инноваци, ахиц дэвшил гаргахад тусална.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 10-р сарын 25